Stäubli Electrical Connectors AG

Temiz oda robotu çözümlerimiz hassasiyet, hız ve temizliği bir araya getirir

Hassasiyet ve hız ile azaltılmış partikül kontaminasyonu açısından, elektronik ve yarı iletken üretimi otomasyondan yüksek taleplerde bulunur. Stäubli temiz oda robotları, son derece verimli çözümlerin uygulanmasına olanak tanır. Robotlarımız, yarı iletken üretim değer zinciri boyunca silikon gofretleri, FOUP'ları/kasetleri, fotomaskları ve panelleri olağanüstü yüksek hassasiyet ve hızla ve düşük titreşimli hareketlerle işleyebilir.

Yarı iletken endüstrisi için özel olarak geliştirilmiştir

Özel olarak geliştirilen Supercleanroom (SCR) altı eksenli robotlar, temiz oda ortamlarındaki katı gereksinimler için tasarlanmıştır. ISO 14644-1 Sınıf 2/3 veya FED209E Alt Sınıf 1 standartlarına uygundurlar. Makineler, özel kaplamalı poliüretandan yapılmış tamamen kapsüllenmiş bir kola sahiptir ve dar alanlarda etkileyici manevra kabiliyeti ile karakterize edilir. Stäubli'nin SCR robotları diğer yonga plakası üretim robotlarına kıyasla daha fazla esneklik, daha yüksek taşıma kapasitesi ve daha uzun erişim sunar. Böylece wafer, fotomask ve kasetlerin taşınmasına yönelik tüm gereksinimleri karşılarlar. Robotların az yer kaplaması sayesinde, özel makinelerde değerli kurulum alanından tasarruf edilebilir.