Aurion Anlagentechnik GmbH
01.10.2025 10:40
AURION, ihtiyaçlarınıza göre ayarlanmış vakum altında substrat işleme özelliğine sahip çok odalı sistemler sunar. Mevcut konfigürasyonlar arasında yük kilitleme odaları, transfer odaları ve püskürtme ve RIE prosesleri için proses modülleri bulunmaktadır.
AURION, ihtiyaçlarınıza göre ayarlanmış vakum altında substrat taşıma özellikli inline (pass-by) sistemler sunar. Mevcut konfigürasyonlar arasında yük kilitleme odaları, ön işlem odaları ve püskürtme odaları bulunmaktadır. Dikey ve yatay düzenler mevcuttur.
Kategori
Teklifler
Ülke
Almanya