Kategoriler

Aurion Anlagentechnik GmbH

Aurion Anlagentechnik GmbH

  • DIN EN ISO 9001:2015

Aurion Anlagentechnik GmbH

  • DIN EN ISO 9001:2015

01.10.2025 10:40

Cluster ve inline sistemler

Reklamı yanıtla

Küme Sistemleri

AURION, ihtiyaçlarınıza göre ayarlanmış vakum altında substrat işleme özelliğine sahip çok odalı sistemler sunar. Mevcut konfigürasyonlar arasında yük kilitleme odaları, transfer odaları ve püskürtme ve RIE prosesleri için proses modülleri bulunmaktadır.

 

Inline Sistemler

AURION, ihtiyaçlarınıza göre ayarlanmış vakum altında substrat taşıma özellikli inline (pass-by) sistemler sunar. Mevcut konfigürasyonlar arasında yük kilitleme odaları, ön işlem odaları ve püskürtme odaları bulunmaktadır. Dikey ve yatay düzenler mevcuttur.


Reklamı yanıtla

Kategori
Teklifler

Ülke
Almanya